用于精密铸造，作为砂型的粘结剂；用正硅酸乙酯蒸气处理的金属表面可防腐防水。正硅酸乙酯可用来对金属表面渗硅，处理光学玻璃可提高透光度；完全水解后产生的极细氧化硅粉可用于制造荧光粉。正硅酸乙酯是有机硅油的原料。正硅酸乙酯还可用于制造耐热、耐化学品的涂料。